全新發(fā)布的日立新型場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）全新品牌 "Regulus?系列"，機(jī)型包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開(kāi)發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級(jí)版"Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4個(gè)機(jī)型，均實(shí)現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化。"Regulus系列" 電子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了*優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時(shí)分辨率較前代機(jī)型提高了約20％。"Regulus8220/8230/8240"達(dá)到0.9nm，"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率。另外，*適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場(chǎng)電子槍可將樣品的細(xì)節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。*大放大倍率也由之前的100萬(wàn)倍提高到了200萬(wàn)倍。除此之外，為了能更好的應(yīng)對(duì)不同樣品的測(cè)試和保持并發(fā)揮出高性能，還對(duì)用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化，如信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的操作輔助功能，維護(hù)輔助